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净化车间空调机组分类

(编辑:shunxin 日期:2019年11月10日 浏览: 加入收藏 )

  净化车间空调机组一般可分为集中式和分散式两种类型:

  集中式净化空调系统是净化空调设备(如加热器、冷却器、加湿器、租中效过滤器、风机等)集中设置在空调机房内,用风管将洁净空气送给各个洁净室。

  分散式净化空调系统是在一般的空调环境或低级别净化环境中,设置净化设备或净化空调设备,如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等。

  随着科学技术的发展,尤其是半导体集成电路制造技术的迅猛发展,对生产环域的空气洁净度要求越来越高。现今的大规模集成电路生产要求控制空气中的 0.051.tm的微植浓度和分子级污染物,因此送风方式发生了很大变化,在半导体芯片工厂或类似生产过程要求 高洁净度的洁净厂房中,其净化空调系统采用循环空气方式,其循环方式主要有集中方式、 隧道方式、风机过滤单元( FFU)方式和微环境+开放式措净室方式等。这些送风方式既可满足高清净度要求,还可以不同程度地降低能量消耗。


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